После прошивки нового Slave ID модуль MR6 не отвечает

А попробуйте восстановить прошивку, как описано здесь:
https://wirenboard.com/wiki/Wb-mcu-fw-updater#Восстановление_прошивки_на_устройстве

Командой

wb-mcu-fw-updater recover <порт, на котором находится устройство> -a <modbus адрес устройства>

Отправил вам личное сообщение с контактами.